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技术指南

ISO 14644-1 洁净等级及其背后的过滤器

2026-09-27

ISO 5、6、7、8 在每立方米颗粒数上意味着什么，以及每个等级的过滤系统——初效、中效和高效——如何配置。

要点

ISO 等级以每立方米最大颗粒数定义——ISO 5 允许 ≥0.5 µm 颗粒 3,520 个，ISO 7 允许 352,000 个。
相邻两个等级的颗粒数相差十倍。
洁净空气来自一套过滤级配：初效 → 中效 → 末端高效。
压差梯度、传递窗和良好的操作规范，让房间在过滤之后保持洁净。

各等级粒子限值

ISO 14644-1 最大浓度限值，个/m³
等级	≥ 0.5 µm	≥ 1 µm	≥ 5 µm	原美国 FED-STD-209E
ISO 5	3,520	832	—	100 级
ISO 6	35,200	8,320	293	1,000 级
ISO 7	352,000	83,200	2,930	10,000 级
ISO 8	3,520,000	832,000	29,300	100,000 级

等级按所选占用状态（空态、静态或动态）下的粒子数判定。

过滤级配

单独一台过滤器造不出洁净室。空气要依次经过多级过滤，每一级都保护下一级：

初效过滤器（板式、折叠式或网式）在进风口去除大颗粒粉尘和纤维。
中效过滤器（袋式、P-Cell、V-Cell、W-Cell——通常为 ISO ePM1 等级）去除细小粉尘并保护高效段。
末端 HEPA 或 ULPA 过滤器（吊顶送风口或 FFU）把最终的洁净空气送入房间。

各等级的典型配置

等级	末端过滤器	典型布置
ISO 8	HEPA（常用 H13）	风管式末端送风口，局部吊顶覆盖
ISO 7	HEPA（H13/H14）	末端送风口或 FFU，换气次数更高
ISO 6	HEPA（H14）	FFU 或末端送风口，覆盖面积更大
ISO 5	HEPA H14 或 ULPA	单向流，FFU 满布吊顶或洁净工作台 / 洁净棚

局部 ISO 5 区域常在 ISO 7 房间内用洁净工作台或洁净棚实现，而不必把整间房做成 ISO 5。

保持房间洁净

保持从洁净区到较低洁净区的压差梯度；泄压阀可使其稳定。
物料通过互锁传递窗传递，而不是开门进出。
末端高效过滤器安装后要扫描检漏——ISO 5 及更洁净房间的每一台末端过滤器都要检测。
单向流中，同一送风面上各过滤器的额定阻力应尽量接近（与平均值相差约 5% 以内），以保证气流均匀。

常见问题

ISO 7 等于 1 万级吗？

大致相当。FED-STD-209E 已于 2001 年废止；对于 ≥0.5 µm 颗粒，ISO 7 是 ISO 14644-1 中对应的等级。

可以只把房间的一部分做成 ISO 5 吗？

可以。洁净工作台、洁净棚或局部 FFU 罩可在较低洁净等级的房间内形成 ISO 5 区域。

ISO 7 需要哪一级高效过滤器？

常用 H13；设计或客户要求时用 H14。详见我们关于 H13 与 H14 的文章。

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