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기술 가이드

ISO 14644-1 클린룸 등급과 필요한 필터

2026-09-27

ISO 5·6·7·8이 세제곱미터당 입자 수로 무엇을 뜻하는지, 그리고 등급별 여과 구성 — 프리, 중성능, HEPA — 을 어떻게 짜는지 설명합니다.

핵심 요약

  • ISO 등급은 m³당 최대 입자 수로 정의됩니다. ISO 5는 0.5 µm 이상 입자 3,520개, ISO 7은 352,000개까지 허용합니다.
  • 등급 하나 차이는 입자 수 10배 차이입니다.
  • 깨끗한 공기는 여과의 연쇄에서 나옵니다: 프리 필터 → 중성능 필터 → 터미널 HEPA.
  • 차압 캐스케이드, 패스박스, 올바른 운영이 여과 이후에도 실을 깨끗하게 유지합니다.

등급별 입자 한도

ISO 14644-1 최대 농도 한도, 개/m³
등급≥ 0.5 µm≥ 1 µm≥ 5 µm구 미국 FED-STD-209E
ISO 53,520832—Class 100
ISO 635,2008,320293Class 1,000
ISO 7352,00083,2002,930Class 10,000
ISO 83,520,000832,00029,300Class 100,000

등급은 선택한 점유 상태(시공 완료, 정지, 가동)에서의 입자 수로 판정합니다.

여과 구성

필터 하나로 클린룸이 되지는 않습니다. 공기는 여러 단계를 거치며 각 단계가 다음 단계를 보호합니다.

  • 프리 필터(패널, 주름형, 메시)가 흡입구에서 큰 먼지와 섬유를 제거합니다.
  • 중성능 필터(백, P-Cell, V-Cell, W-Cell. 보통 ISO ePM1 등급)가 미세 먼지를 제거하고 HEPA 단계를 보호합니다.
  • 터미널 HEPA 또는 ULPA 필터(천장 모듈이나 FFU)가 최종 청정 공기를 실내로 보냅니다.

등급별 대표 구성

등급터미널 필터대표 배치
ISO 8HEPA (주로 H13)덕트식 터미널 모듈, 천장 부분 설치
ISO 7HEPA (H13/H14)터미널 모듈 또는 FFU, 환기 횟수 증가
ISO 6HEPA (H14)FFU 또는 터미널 모듈, 커버 면적 확대
ISO 5HEPA H14 또는 ULPA일방향류, FFU 천장 또는 클린벤치/부스

국소 ISO 5 구역은 실 전체를 ISO 5로 만들지 않고 ISO 7 실 안에 클린벤치나 클린부스를 두어 구현하는 경우가 많습니다.

실을 깨끗하게 유지하기

  • 청정도가 높은 구역에서 낮은 구역으로 차압 캐스케이드를 유지하고, 릴리프 댐퍼로 안정시킵니다.
  • 물품은 문 개폐가 아니라 인터록 패스박스로 전달합니다.
  • 터미널 HEPA 필터는 설치 후 스캔 시험을 하며, ISO 5 이상 실에서는 전수 시험합니다.
  • 일방향류에서는 같은 취출면 필터의 정격 저항을 맞춰(평균 대비 약 5% 이내) 기류를 균일하게 합니다.

자주 묻는 질문

ISO 7은 Class 10,000과 같은가요?

대략 같습니다. FED-STD-209E는 2001년에 폐지되었고, 0.5 µm 이상 입자 기준으로 ISO 7이 ISO 14644-1의 해당 등급입니다.

실의 일부만 ISO 5로 만들 수 있나요?

네. 클린벤치, 클린부스, 국소 FFU 후드로 청정도가 낮은 실 안에 ISO 5 존을 만들 수 있습니다.

ISO 7에는 어떤 HEPA 등급이 필요한가요?

보통 H13이며, 설계나 고객 요구가 있으면 H14를 씁니다. H13과 H14 해설 기사를 참고하세요.

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