기술 가이드
2026-09-27
ISO 5·6·7·8이 세제곱미터당 입자 수로 무엇을 뜻하는지, 그리고 등급별 여과 구성 — 프리, 중성능, HEPA — 을 어떻게 짜는지 설명합니다.
핵심 요약
| 등급 | ≥ 0.5 µm | ≥ 1 µm | ≥ 5 µm | 구 미국 FED-STD-209E |
|---|---|---|---|---|
| ISO 5 | 3,520 | 832 | — | Class 100 |
| ISO 6 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 |
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 |
등급은 선택한 점유 상태(시공 완료, 정지, 가동)에서의 입자 수로 판정합니다.
필터 하나로 클린룸이 되지는 않습니다. 공기는 여러 단계를 거치며 각 단계가 다음 단계를 보호합니다.
| 등급 | 터미널 필터 | 대표 배치 |
|---|---|---|
| ISO 8 | HEPA (주로 H13) | 덕트식 터미널 모듈, 천장 부분 설치 |
| ISO 7 | HEPA (H13/H14) | 터미널 모듈 또는 FFU, 환기 횟수 증가 |
| ISO 6 | HEPA (H14) | FFU 또는 터미널 모듈, 커버 면적 확대 |
| ISO 5 | HEPA H14 또는 ULPA | 일방향류, FFU 천장 또는 클린벤치/부스 |
국소 ISO 5 구역은 실 전체를 ISO 5로 만들지 않고 ISO 7 실 안에 클린벤치나 클린부스를 두어 구현하는 경우가 많습니다.
대략 같습니다. FED-STD-209E는 2001년에 폐지되었고, 0.5 µm 이상 입자 기준으로 ISO 7이 ISO 14644-1의 해당 등급입니다.
네. 클린벤치, 클린부스, 국소 FFU 후드로 청정도가 낮은 실 안에 ISO 5 존을 만들 수 있습니다.
보통 H13이며, 설계나 고객 요구가 있으면 H14를 씁니다. H13과 H14 해설 기사를 참고하세요.