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技術指南

ISO 14644-1 潔淨等級及其背後的過濾器

2026-09-27

ISO 5、6、7、8 在每立方米顆粒數上意味著什麼，以及每個等級的過濾系統——初效、中效和高效——如何配置。

要點

ISO 等級以每立方米最大顆粒數定義——ISO 5 允許 ≥0.5 µm 顆粒 3,520 個，ISO 7 允許 352,000 個。
相鄰兩個等級的顆粒數相差十倍。
潔淨空氣來自一套過濾級配：初效 → 中效 → 末端高效。
壓差梯度、傳遞窗和良好的操作規範，讓房間在過濾之後保持潔淨。

各等級粒子限值

ISO 14644-1 最大濃度限值，個/m³
等級	≥ 0.5 µm	≥ 1 µm	≥ 5 µm	原美國 FED-STD-209E
ISO 5	3,520	832	—	100 級
ISO 6	35,200	8,320	293	1,000 級
ISO 7	352,000	83,200	2,930	10,000 級
ISO 8	3,520,000	832,000	29,300	100,000 級

等級按所選佔用狀態（空態、靜態或動態）下的粒子數判定。

過濾級配

單獨一臺過濾器造不出潔淨室。空氣要依次經過多級過濾，每一級都保護下一級：

初效過濾器（板式、摺疊式或網式）在進風口去除大顆粒粉塵和纖維。
中效過濾器（袋式、P-Cell、V-Cell、W-Cell——通常為 ISO ePM1 等級）去除細小粉塵並保護高效段。
末端 HEPA 或 ULPA 過濾器（吊頂送風口或 FFU）把最終的潔淨空氣送入房間。

各等級的典型配置

等級	末端過濾器	典型佈置
ISO 8	HEPA（常用 H13）	風管式末端送風口，區域性吊頂覆蓋
ISO 7	HEPA（H13/H14）	末端送風口或 FFU，換氣次數更高
ISO 6	HEPA（H14）	FFU 或末端送風口，覆蓋面積更大
ISO 5	HEPA H14 或 ULPA	單向流，FFU 滿布吊頂或潔淨工作臺 / 潔淨棚

區域性 ISO 5 區域常在 ISO 7 房間內用潔淨工作臺或潔淨棚實現，而不必把整間房做成 ISO 5。

保持房間潔淨

保持從潔淨區到較低潔淨區的壓差梯度；洩壓閥可使其穩定。
物料通過互鎖傳遞窗傳遞，而不是開門進出。
末端高效過濾器安裝後要掃描檢漏——ISO 5 及更潔淨房間的每一臺末端過濾器都要檢測。
單向流中，同一送風面上各過濾器的額定阻力應儘量接近（與平均值相差約 5% 以內），以保證氣流均勻。

常見問題

ISO 7 等於 1 萬級嗎？

大致相當。FED-STD-209E 已於 2001 年廢止；對於 ≥0.5 µm 顆粒，ISO 7 是 ISO 14644-1 中對應的等級。

可以只把房間的一部分做成 ISO 5 嗎？

可以。潔淨工作臺、潔淨棚或區域性 FFU 罩可在較低潔淨等級的房間內形成 ISO 5 區域。

ISO 7 需要哪一級高效過濾器？

常用 H13；設計或客戶要求時用 H14。詳見我們關於 H13 與 H14 的文章。

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