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技術ガイド

ISO 14644-1のクリーンルームクラスと必要なフィルター

2026-09-27

ISO 5・6・7・8が1立方メートルあたりの粒子数で何を意味するか、そして各クラスのろ過構成——プレ、中性能、HEPA——をどう組むかを解説します。

ポイント

ISOクラスは1 m³あたりの最大粒子数で定義されます。ISO 5は0.5 µm以上の粒子を3,520個、ISO 7は352,000個まで許容します。
クラスが1つ違うと粒子数は10倍違います。
清浄な空気はろ過の連なりから生まれます：プレフィルター → 中性能フィルター → 末端HEPA。
差圧カスケード、パスボックス、適切な運用が、ろ過後も部屋を清浄に保ちます。

クラス別の粒子限度

ISO 14644-1 最大濃度限度、個/m³
クラス	≥ 0.5 µm	≥ 1 µm	≥ 5 µm	旧米国 FED-STD-209E
ISO 5	3,520	832	—	クラス100
ISO 6	35,200	8,320	293	クラス1,000
ISO 7	352,000	83,200	2,930	クラス10,000
ISO 8	3,520,000	832,000	29,300	クラス100,000

クラスは選択した占有状態（施工完了時、静的、動的）での粒子数で判定します。

ろ過の構成

フィルター1台でクリーンルームはできません。空気は複数の段を通り、各段が次の段を保護します。

プレフィルター（パネル、プリーツ、メッシュ）が取り入れ口で大きな粉じんや繊維を除去します。
中性能フィルター（バッグ、P-Cell、V-Cell、W-Cell。一般にISO ePM1等級）が微細な粉じんを除去し、HEPA段を保護します。
末端のHEPAまたはULPAフィルター（天井モジュールやFFU）が、最終的な清浄空気を室内へ送ります。

クラス別の代表的な構成

クラス	末端フィルター	代表的な配置
ISO 8	HEPA（多くはH13）	ダクト式末端モジュール、天井の部分設置
ISO 7	HEPA（H13/H14）	末端モジュールまたはFFU、換気回数を増やす
ISO 6	HEPA（H14）	FFUまたは末端モジュール、カバー面積を拡大
ISO 5	HEPA H14またはULPA	一方向流、FFU天井またはクリーンベンチ／ブース

局所的なISO 5エリアは、部屋全体をISO 5にするのではなく、ISO 7の部屋の中にクリーンベンチやクリーンブースを置いて実現することが多いです。

部屋を清浄に保つ

清浄度の高い区域から低い区域へ差圧カスケードを保ち、リリーフダンパーで安定させます。
物品は扉の開閉ではなく、インターロック付きパスボックスで受け渡します。
末端HEPAフィルターは設置後にスキャン試験を行い、ISO 5以上の部屋では全数を試験します。
一方向流では、同じ吹出面のフィルターの定格抵抗をそろえ（平均から約5%以内）、気流を均一にします。

よくある質問

ISO 7はクラス10,000と同じですか？

ほぼ同じです。FED-STD-209Eは2001年に廃止され、0.5 µm以上の粒子についてはISO 7がISO 14644-1の相当クラスです。

部屋の一部だけISO 5にできますか？

はい。クリーンベンチ、クリーンブース、局所FFUフードで、清浄度の低い部屋の中にISO 5ゾーンをつくれます。

ISO 7にはどのHEPAクラスが必要？

一般にH13で、設計や顧客の要求があればH14を使います。H13とH14の解説記事をご覧ください。

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