คำแนะนำด้านเทคนิค

ISO 14644-1 คลาสคลีนรูมและตัวกรองเบื้องหลัง

2026-09-27

ความหมายของ ISO 5, 6, 7 และ 8 ในหน่วยอนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร และวิธีสร้างขบวนการกรอง — ตัวกรองขั้นต้น ตัวกรองประสิทธิภาพปานกลาง และ HEPA — สำหรับแต่ละคลาส

ประเด็นหลัก

คลาส ISO ถูกกำหนดโดยจำนวนอนุภาคสูงสุดต่อ m³ — ISO 5 อนุญาตให้ใช้อนุภาค 3,520 ≥ 0.5 µm, ISO 7 อนุญาตให้ใช้ 352,000
แต่ละขั้นตอนของคลาสเดียวหมายถึงอนุภาคมากกว่าหรือน้อยกว่าสิบเท่า
อากาศที่สะอาดมาจากชุดกรอง: ตัวกรองขั้นต้นหยาบ → ตัวกรองประสิทธิภาพปานกลาง → เทอร์มินัล HEPA
แรงดันลดหลั่น กล่องผ่าน และแนวทางปฏิบัติที่ดีช่วยรักษาความสะอาดของห้องหลังตัวกรอง

ขีดจำกัดของอนุภาคตามคลาส

ISO 14644-1 ความเข้มข้นสูงสุด, อนุภาคต่อลูกบาศก์เมตร
ระดับ	≥ 0.5 ไมโครเมตร	≥ 1 ไมโครเมตร	≥ 5 ไมโครเมตร	อดีต FED-STD-209E ของสหรัฐฯ
ISO 5	3,520	832	—	คลาส 100
ISO 6	35,200	8,320	293	คลาส 1,000
ISO 7	352,000	83,200	2,930	คลาส 10,000
ISO 8	3,520,000	832,000	29,300	คลาส 100,000

ชั้นเรียนจะถูกกำหนดโดยการนับอนุภาคในสถานะการเข้าใช้งานที่เลือก (ตามที่สร้างขึ้น ขณะพัก หรือปฏิบัติงาน)

รถไฟกรอง

ไม่มีตัวกรองตัวเดียวที่สร้างห้องสะอาด อากาศผ่านขั้นตอนต่างๆ โดยแต่ละขั้นตอนจะปกป้องสิ่งต่อไปนี้:

ตัวกรองขั้นต้นแบบหยาบ (แผง แบบจีบ หรือแบบตาข่าย) ขจัดฝุ่นและเส้นใยขนาดใหญ่ที่ทางเข้าออก
ตัวกรองประสิทธิภาพปานกลาง (พ็อกเก็ต, P-Cell, V-Cell, W-Cell — โดยทั่วไปคือเกรด ISO ePM1) ขจัดฝุ่นละเอียดและปกป้องเวที HEPA
ตัวกรองเทอร์มินัล HEPA หรือ ULPA (โมดูลเพดานหรือ FFU) จะส่งอากาศสะอาดขั้นสุดท้ายเข้าสู่ห้อง

รูปแบบทั่วไปตามระดับความสะอาด

ระดับ	ตัวกรองเทอร์มินัล	การจัดเรียงทั่วไป
ISO 8	HEPA (มักเป็น H13)	โมดูลขั้วต่อแบบต่อท่อ ครอบคลุมเพดานบางส่วน
ISO 7	HEPA (H13/H14)	โมดูลเทอร์มินัลหรือ FFU การเปลี่ยนแปลงอากาศที่สูงขึ้น
ISO 6	HEPA (H14)	FFU หรือโมดูลเทอร์มินัล ครอบคลุมมากขึ้น
ISO 5	HEPA H14 หรือ ULPA	การไหลทิศทางเดียว, เพดาน FFU หรือโต๊ะปฏิบัติงาน / บูธที่สะอาด

โซน ISO 5 ในพื้นที่มักถูกสร้างขึ้นโดยมีเวิร์กสเตชันหรือคลีนบูธที่สะอาดภายในห้อง ISO 7 แทนที่จะสร้างทั้งห้อง ISO 5

รักษาความสะอาดของห้อง

รักษาระดับแรงดันจากน้ำยาทำความสะอาดไปยังบริเวณที่สะอาดน้อยกว่า แดมเปอร์แบบผ่อนปรนทำให้มั่นคง
ถ่ายโอนวัสดุผ่านกล่องผ่านที่เชื่อมต่อกันแทนการเปิดประตู
สแกนตัวกรองเทอร์มินัลทดสอบ HEPA หลังการติดตั้ง — ตัวกรองเทอร์มินัลทุกตัวใน ISO 5 และห้องทำความสะอาด
ในการไหลทิศทางเดียว ให้รักษาพิกัดความต้านทานของตัวกรองบนหน้าจ่ายเดียวกันให้อยู่ใกล้กัน (ภายในประมาณ 5% ของค่าเฉลี่ย) เพื่อให้กระแสลมสม่ำเสมอ