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技术指南

洁净室需要多少台风机过滤单元(FFU)?

2026-09-27

FFU 数量取决于洁净等级、房间大小,以及所需的换气次数或下送风速。附计算示例和典型设计范围。

要点

  • FFU 台数 = 所需风量 ÷ 单台风量。
  • 所需风量由 ISO 等级决定:非单向流房间看换气次数,ISO 5 及更洁净看下送风速。
  • 典型设计范围只是参考,不是标准要求——房间仍须通过 ISO 14644-1 检测。
  • 单元应均匀布置,并放在最关键的工作区上方。

第一步:确定所需风量

对于采用乱流(非单向流)的 ISO 6–8 洁净室,设计师按每小时换气次数(ACH)计算。对于采用单向流的 ISO 5 及更洁净房间,按过滤吊顶面积上的下送风速计算,过滤器出风面通常约为 0.3–0.5 m/s。

典型设计范围

常用设计参考——请与您的洁净室设计师确认
ISO 14644-1 等级风量依据典型吊顶过滤器覆盖率
ISO 5单向流,约 0.3–0.5 m/s大部分乃至满布
ISO 6约 150–240 次/时约 25–40%
ISO 7约 60–90 次/时约 15–25%
ISO 8约 10–30 次/时约 5–15%

实际要求取决于工艺、人员、设备和污染源。房间是否达标以尘埃粒子数为准,而不是换气次数。

第二步:计算示例

一个长 10 m、宽 6 m、高 3 m 的房间,体积为 180 m³。按 ISO 7、每小时 60 次换气,送风量为 180 × 60 = 10,800 m³/h。

一台 2 × 4 英尺的 FFU(滤芯约 0.57 × 1.17 m)以 0.45 m/s 面风速运行,风量约为 0.57 × 1.17 × 0.45 × 3,600 ≈ 1,080 m³/h。因此房间大约需要 10,800 ÷ 1,080 = 10 台,再考虑过滤器积尘及门、设备布局的余量。

第三步:选择模数和布置

  • 2 × 2 英尺(570 × 570 mm)单元适合小房间和局部覆盖。
  • 2 × 4 英尺(570 × 1170 mm)单元每台覆盖面积更大,接线也更少。
  • 把单元放在关键工艺上方,其余均匀分布;回风口设在墙面低处,把颗粒带走。
  • 配置调速,以便过滤器积尘后可提高风量。

常见问题

一台 FFU 的风量是多少?

取决于尺寸和风机转速。2 × 4 英尺单元在约 0.45 m/s 面风速下风量约 1,000 m³/h;请以具体型号的额定风量为准。

FFU 能取代空调机组吗?

通常不能。FFU 负责循环并过滤室内空气;空调机组仍需提供经温湿度处理的新风,并维持房间正压。

FFU 用 HEPA 还是 ULPA?

HEPA 可满足大多数洁净等级;ULPA 用于最关键的半导体和科研区域。

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