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技術指南

潔淨室需要多少颱風機過濾單元(FFU)?

2026-09-27

FFU 數量取決於潔淨等級、房間大小,以及所需的換氣次數或下送風速。附計算示例和典型設計範圍。

要點

  • FFU 臺數 = 所需風量 ÷ 單颱風量。
  • 所需風量由 ISO 等級決定:非單向流房間看換氣次數,ISO 5 及更潔淨看下送風速。
  • 典型設計範圍只是參考,不是標準要求——房間仍須通過 ISO 14644-1 檢測。
  • 單元應均勻佈置,並放在最關鍵的工作區上方。

第一步:確定所需風量

對於採用亂流(非單向流)的 ISO 6–8 潔淨室,設計師按每小時換氣次數(ACH)計算。對於採用單向流的 ISO 5 及更潔淨房間,按過濾吊頂面積上的下送風速計算,過濾器出風面通常約為 0.3–0.5 m/s。

典型設計範圍

常用設計參考——請與您的潔淨室設計師確認
ISO 14644-1 等級風量依據典型吊頂過濾器覆蓋率
ISO 5單向流,約 0.3–0.5 m/s大部分乃至滿布
ISO 6約 150–240 次/時約 25–40%
ISO 7約 60–90 次/時約 15–25%
ISO 8約 10–30 次/時約 5–15%

實際要求取決於工藝、人員、裝置和汙染源。房間是否達標以塵埃粒子數為準,而不是換氣次數。

第二步:計算示例

一個長 10 m、寬 6 m、高 3 m 的房間,體積為 180 m³。按 ISO 7、每小時 60 次換氣,送風量為 180 × 60 = 10,800 m³/h。

一臺 2 × 4 英尺的 FFU(濾芯約 0.57 × 1.17 m)以 0.45 m/s 面風速執行,風量約為 0.57 × 1.17 × 0.45 × 3,600 ≈ 1,080 m³/h。因此房間大約需要 10,800 ÷ 1,080 = 10 臺,再考慮過濾器積塵及門、裝置佈局的餘量。

第三步:選擇模數和佈置

  • 2 × 2 英尺(570 × 570 mm)單元適合小房間和區域性覆蓋。
  • 2 × 4 英尺(570 × 1170 mm)單元每臺覆蓋面積更大,接線也更少。
  • 把單元放在關鍵工藝上方,其餘均勻分佈;迴風口設在牆面低處,把顆粒帶走。
  • 配置調速,以便過濾器積塵後可提高風量。

常見問題

一臺 FFU 的風量是多少?

取決於尺寸和風機轉速。2 × 4 英尺單元在約 0.45 m/s 面風速下風量約 1,000 m³/h;請以具體型號的額定風量為準。

FFU 能取代空調機組嗎?

通常不能。FFU 負責迴圈並過濾室內空氣;空調機組仍需提供經溫溼度處理的新風,並維持房間正壓。

FFU 用 HEPA 還是 ULPA?

HEPA 可滿足大多數潔淨等級;ULPA 用於最關鍵的半導體和科研區域。

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