クリーンルームに必要なファンフィルターユニットの台数は？

ステップ1：必要風量を求める

乱流（非一方向流）のISO 6～8の部屋では、設計者は1時間あたりの換気回数（ACH）から考えます。一方向流のISO 5以上の部屋では、ろ過天井面の吹出風速から考え、フィルター面で一般に約0.3～0.5 m/sです。

代表的な設計範囲

実際の要件は工程、人員、設備、汚染源によって異なります。部屋の合否は換気回数ではなく粒子数で判定されます。

ステップ2：計算例

幅10 m、奥行き6 m、高さ3 mの部屋の容積は180 m³です。ISO 7で60回/hとすると、給気風量は180 × 60 = 10,800 m³/hです。

2 × 4フィートのFFU（フィルター約0.57 × 1.17 m）を面風速0.45 m/sで運転すると、風量は約0.57 × 1.17 × 0.45 × 3,600 ≈ 1,080 m³/hです。したがって約10,800 ÷ 1,080 = 10台が必要で、さらにフィルターの目詰まりや扉・設備のレイアウトに応じた余裕を加えます。

ステップ3：モジュール寸法と配置を選ぶ

• 2 × 2フィート（570 × 570 mm）は小部屋や部分設置向き。
• 2 × 4フィート（570 × 1170 mm）は1台あたりのカバー面積が大きく、接続数も減らせます。
• 重要な工程の上にユニットを置き、残りは均等に配置。還気口は壁の低い位置に設けて粒子を排出します。
• フィルターの目詰まりに合わせて風量を上げられるよう、速度制御を備えます。