คำแนะนำด้านเทคนิค
2026-09-27
จำนวน FFU ขึ้นอยู่กับระดับความสะอาด ขนาดห้อง และอัตราการเปลี่ยนอากาศหรือความเร็วลมแนวดิ่งที่ต้องการ พร้อมตัวอย่างการคำนวณและช่วงค่าการออกแบบทั่วไป
ประเด็นหลัก
สำหรับห้อง ISO 6–8 ที่มีการไหลเวียนของอากาศแบบผสม (ไม่ใช่ทิศทางเดียว) นักออกแบบจะทำงานจากการเปลี่ยนแปลงอากาศต่อชั่วโมง (ACH) สำหรับ ISO 5 และห้องทำความสะอาดที่มีการไหลทิศทางเดียว ทำงานจากความเร็วการไหลลงข้ามพื้นที่เพดานที่ถูกกรอง โดยทั่วไปจะอยู่ที่ประมาณ 0.3–0.5 m/s ที่หน้าตัวกรอง
| คลาส ISO 14644-1 | พื้นฐานการไหลของอากาศ | การครอบคลุมเพดานทั่วไปพร้อมตัวกรอง |
|---|---|---|
| ISO 5 | ทิศทางเดียว, ~0.3–0.5 m/s | แบ่งปันขนาดใหญ่จนเต็มเพดาน |
| ISO 6 | ~150–240 ACH | ~25–40% |
| ISO 7 | ~60–90 ACH | ~15–25% |
| ISO 8 | ~10–30 ACH | ~5–15% |
ข้อกำหนดที่แท้จริงขึ้นอยู่กับกระบวนการ ผู้คน อุปกรณ์ และแหล่งที่มาของการปนเปื้อน ห้องนี้ผ่านการตรวจนับอนุภาค ไม่ใช่จากการเปลี่ยนแปลงของอากาศ
ห้อง 10 m × 6 m × 3 m สูงมีปริมาตร 180 m³ สำหรับ ISO 7 ที่ 60 ACH การไหลเวียนของอากาศที่จ่ายคือ 180 × 60 = 10,800 m³/h.
A 2 × 4 ft FFU (ตัวกรองประมาณ 0.57 × 1.17 m) ทำงานที่ ความเร็วหน้าของ 0.45 m/s ให้ค่าประมาณ 0.57 × 1.17 × 0.45 × 3,600 ➤ 1,080 m³/h ดังนั้นห้องจึงต้องมีหน่วย 10,800 KW 1,080 = 10 ประมาณก่อนเพิ่มระยะขอบสำหรับการโหลดตัวกรองและสำหรับประตูและอุปกรณ์ในแผนผังของคุณ
ขึ้นอยู่กับขนาดและความเร็วพัดลม หน่วย 2 × 4 ฟุตที่ความเร็วหน้าประมาณ 0.45 m/s ให้ค่าประมาณ 1,000 m³/h; ตรวจสอบอัตราการไหลของอากาศของยูนิตเฉพาะ
มักจะไม่ FFUs หมุนเวียนและกรองอากาศในห้อง AHU ยังคงจ่ายอากาศบริสุทธิ์ปรับอากาศสำหรับอุณหภูมิ ความชื้น และแรงดัน
HEPA ครอบคลุมคลาสคลีนรูมส่วนใหญ่ ULPA ใช้สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และโซนการวิจัยที่สำคัญที่สุด