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技術ガイド

HEPAフィルター施工前チェックリスト

2020-11-05 · 更新 2026-09-27

HEPA吹出口の施工品質がクリーンルームのクラス達成を左右します。仕様、部屋、系統、納品されたフィルター、施工完了後に確認すべきことをまとめました。

ポイント

  • 施工前に寸法と効率がクリーンルーム設計と合っているか確認します。
  • 部屋、天井裏、空調系統を清掃し、系統を12時間以上連続運転してから再度清掃します。
  • 納品時に全数を点検:ろ材、シール材、枠、寸法、バリやさび、合格証。
  • 同じ吹出面ではフィルターの抵抗をそろえ、施工後に末端フィルターをスキャン試験します。

施工が性能を決める理由

HEPAフィルターの性能は施工品質次第です。角の破損、シール不良のフランジ、ダクト内に残った粉じんがあれば、適切なフィルターを使ってもクリーンルームはクラスに届きません。以下の各ステップは、実際の案件で問題を起こしてきたポイントです。

1. 仕様を確認する

施工開始前に、フィルターや吹出口の寸法と効率が、クリーンルームの設計要件とお客様の適用規格に合っているか確認します。

2. 天井と開口部を準備する

  • 吹出口フランジと天井パネルの継ぎ目をガスケットでシールし、すき間やひび割れはすべて処理します。
  • フィルターや塗装が損傷した吹出口は取り付けません。
  • 吹出口をダクトに確実に接続し、接続までダクトの開口端はビニールシートとテープで養生します。

3. まず清掃、次に試運転

納品された製品とクリーンルーム全体を清掃します。空調系統、天井裏、設備スペースの粉じんを清掃要件を満たすまで除去します。その後、空調系統を12時間以上連続運転し、HEPAフィルターを取り付ける前にもう一度清掃します。

4. 運搬と取り扱い

フィルターはメーカー表示の向きで運搬・保管します。ろ材は壊れやすいので、丁寧に扱い、振動や衝撃を避けてください。

5. 納品時に全数点検

  • ろ材、シール材、枠に損傷がないこと。
  • 辺の長さ、対角線、厚さが許容範囲内であること。
  • 金属枠にバリやさびがないこと。
  • 各フィルターに合格証があり、技術データが設計を満たしていること。

6. 抵抗をそろえてからスキャン

一方向流の部屋では、測定した抵抗に応じてフィルターを振り分け、同じ吹出口または吹出面の各フィルターの定格抵抗と平均値の差を5%未満にします。これで気流が均一になります。

ISO 5以上の部屋でエアロゾルのろ過を目的とする末端HEPAフィルター、またはプロジェクトで要求される末端フィルターは、施工後に1台ずつ現場スキャンリーク試験を行い、合格する必要があります。

よくある質問

HEPAフィルター取付前に系統を運転する理由は?

試運転でダクトやプレナムの工事粉じんを吹き出します。先にHEPAフィルターを付けると、初日からその粉じんで汚れてしまいます。

角が破損したフィルターが届いたら?

取り付けないでください。ろ材やシール材の損傷はリークの原因となり、スキャン試験に合格しません。

施工後にスキャンが必要なフィルターは?

ISO 5以上の部屋のすべての末端HEPAフィルターと、プロジェクト仕様で要求されるその他のフィルターです。

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