技術ガイド
2020-11-05 · 更新 2026-09-27
HEPA吹出口の施工品質がクリーンルームのクラス達成を左右します。仕様、部屋、系統、納品されたフィルター、施工完了後に確認すべきことをまとめました。
ポイント
HEPAフィルターの性能は施工品質次第です。角の破損、シール不良のフランジ、ダクト内に残った粉じんがあれば、適切なフィルターを使ってもクリーンルームはクラスに届きません。以下の各ステップは、実際の案件で問題を起こしてきたポイントです。
施工開始前に、フィルターや吹出口の寸法と効率が、クリーンルームの設計要件とお客様の適用規格に合っているか確認します。
納品された製品とクリーンルーム全体を清掃します。空調系統、天井裏、設備スペースの粉じんを清掃要件を満たすまで除去します。その後、空調系統を12時間以上連続運転し、HEPAフィルターを取り付ける前にもう一度清掃します。
フィルターはメーカー表示の向きで運搬・保管します。ろ材は壊れやすいので、丁寧に扱い、振動や衝撃を避けてください。
一方向流の部屋では、測定した抵抗に応じてフィルターを振り分け、同じ吹出口または吹出面の各フィルターの定格抵抗と平均値の差を5%未満にします。これで気流が均一になります。
ISO 5以上の部屋でエアロゾルのろ過を目的とする末端HEPAフィルター、またはプロジェクトで要求される末端フィルターは、施工後に1台ずつ現場スキャンリーク試験を行い、合格する必要があります。
試運転でダクトやプレナムの工事粉じんを吹き出します。先にHEPAフィルターを付けると、初日からその粉じんで汚れてしまいます。
取り付けないでください。ろ材やシール材の損傷はリークの原因となり、スキャン試験に合格しません。
ISO 5以上の部屋のすべての末端HEPAフィルターと、プロジェクト仕様で要求されるその他のフィルターです。